Descrizione
Questa apparecchiatura è dedicata alla deposizione di film sottili metallici (in particolare magnetici) mediante l’utilizzo di cannoni elettronici (2 a filo ed 1 a crogiolo), in condizioni di ultra-alto vuoto (UHV). Il sistema è dotato di una pompa ionica con sublimatore di Titanio. La camera di deposizione è corredata di strumenti di analisi: un microscopio UHV AFM/STM ed uno spettrometro Rheed.
Informazioni
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Localizzazione: XXXXXX
Inventario: XXXXXX
Numero di serie: XXXXXX
Valore: XXXXXX