evaporare Edwards Auto 306 con gruppo di pompaggio inc. di cryopompa "Coolstar" da 800 1/s n.serie 3352 (unità Auto cryo) ser.3350 /un. Diff.)

<p>Metallizzazioni a film sottile ad alto vuoto per semiconduttori o comunque per applicazioni in cui serva un elevato controllo di spessore e purezza del materiale da depositare. L'apparecchiatura comprende anche uno sputterer al plasma, che svolge la stessa funzione ma con un principio diverso e per campioni di dimensione maggiore.</p>